【专利解密】众凌科技发明精密金属遮罩及其蚀刻激光复合制作方案

【嘉勤点评】众凌科技发明的精密金属遮罩及其蚀刻激光复合制作方案，通过结合两种制作工艺，从而可以获取到两种精密金属遮罩特性，以保障精密金属遮罩在OLED蒸镀制程中不易导致堵孔，还能确保加工孔径精度。

精密金属遮罩主要用于OLED蒸镀制程中，RGB三种颜色的蒸镀材料藉由透过精密金属遮罩上的孔洞，准确的将位置形状大小定义在玻璃基板上。

目前，精密金属遮罩的制作法大致有三种，分别为电铸制作法、激光制作法、蚀刻制作法。其中电铸制作法受限于低热膨胀系数材料而目前仍处于研发阶段；激光制作法则是直接利用激光高能量的原理，直接在金属基材上面轰击刻画出所有的孔洞，但其存在蒸镀角接近90度的问题。

因此目前主流的精密金属遮罩制作法为蚀刻制作法，通过曝光显影制程，在金属基材的上下两面均制作出镂空区，接着在上下两面对应镂空区上利用蚀刻制程首先蚀刻出凹陷区，再由上下两侧面凹陷区进行第二次蚀刻制作出孔洞开口。

但是，该方法通过蚀刻制作法所形成的孔洞大小，其精度难以达到激光制作法的精度，主要是因为通过蚀刻制作法所形成的主表面与孔洞开口的侧边壁面会有斜坡而形成个尖点，而尖点的稳定性不佳，容易因蚀刻时间的长短误差导致孔洞大小的精度变差。

为控制该问题，众凌科技在2021年6月17日申请了一项名为“一种精密金属遮罩及其蚀刻激光复合制作方法”的发明专利（申请号：202110672322.0），申请人为浙江众凌科技有限公司。

根据该专利目前公开的相关资料，让我们一起来看看这项精密金属遮罩的制作方法吧。

该方案中所使用的精密金属遮罩的蚀刻激光复合制作方法包括以下步骤：首先，在金属基材的第一主表面和第二主表面上分别完整涂覆固态光刻胶层。

其次，如上图所示，在第一主表面1a上进行单面的曝光显影制程，制作出镂空区1c形成预留的蚀刻区域，接着，在镂空区上进行单面蚀刻制程以蚀刻出凹陷区1d，即形成蚀刻孔3，如下图所示。

在该步骤中，蚀刻制程将金属基材蚀刻成凹弧坑体，且蚀刻部分延伸至固态光刻胶层的周边下方。

最后，在凹陷区内进行激光制程以轰击刻制出贯穿孔洞，即形成激光孔4，该步骤以凹陷区的中心作为中点，按照激光孔的半径进行激光制程开孔。因此，总结下来，在上述精密金属遮罩的蚀刻激光复合制作方法中，通过先蚀刻后激光的复合工艺所制作出的结构，因金属基材上激光孔开口侧的孔壁接近垂直无斜坡，使激光孔与蚀刻孔的交界处形成弧面与直面相交，并不会产生单独蚀刻制作法的弧面与弧面相交形成的尖点。

由此，弧面与直面相交的结构相对稳定，不易受到蚀刻时间长短误差的影响，同时利用蚀刻孔的凹弧孔壁过渡倾斜，形成较低的蒸镀角结构。另外，暴露孔的通口孔径最终由激光孔决定，因此利用激光制程的高能量轰刻击穿特性，完成通口孔径的高精度要求。

以上就是众凌科技发明的精密金属遮罩及其蚀刻激光复合制作方法，该方案通过结合两种制作工艺，从而可以获取到两种精密金属遮罩特性，以保障精密金属遮罩在OLED蒸镀制程中不易导致堵孔，还能确保加工孔径精度。

（holly）

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